Микроэлектроника

Цель нашей компании - предложение широкого ассортимента товаров и услуг на постоянно высоком качестве обслуживания.

Подбор приборов для контроля параметров чистых помещений производится в соответствии с требованиями стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-3.

Основной параметр, определяющий выбор счетчиков частиц – чувствительность (минимальный размер детектируемых частиц – зависит от технологического процесса, который проводится в данном чистом помещении. Возможно применение счетчиков с чувствительностью 0.1 мкм, 0.2 мкм и 0.3 мкм.

Контроль счетной концентрации частиц различных размеров:

вид измерений

рекомендуемые для чистых помещений приборы

измерения размеров и концентрации частиц
(как оперативные измерения, так и аттестация чистых помещений):
с чувствительностью 0,1 мкм
с чувствительностью 0,2 мкм
с чувствительностью 0,3 мкм



Solair 1100 LD 
Handheld 2016
Handheld 3016

измерения размеров и концентрации частиц
в сжатом воздухе:

с чувствительностью 0,1 мкм



с чувствительностью 0,2 мкм



с чувствительностью 0,3 мкм




Solair 1100 LD
+ адаптер для измерения при высоких давлениях с расходом 1 CFM (куб.фут/мин)

Handheld 2016
+ адаптер для измерения при высоких давлениях с расходом 0,1 CFM (куб.фут/мин)

Handheld 3016
+ адаптер для измерения при высоких давлениях с расходом 0,1 CFM (куб.фут/мин)

мониторинг частиц:

с чувствительностью 0,1 мкм

с чувствительностью 0,2 мкм


с чувствительностью 0,3 мкм



Remote 1104 LD или Remote 1100 LD

Apex R02 или Remote 2014 или Remote 2014Р

Apex R03 или Remote 3014 или Remote 3014Р

измерение дефектов и сканирование установленных НЕРА фильтров

Solair 3100
+
генератор аэрозолей ATM 226
+
разбавитель DIL 554
+
ScanAir или ScanAir Pro или пассивный сканирующий щелевой пробоотборник

Контроль других параметров чистых помещений:

визуализация воздушных потоков

Генератор тумана FOG 2010+

скорость однонаправленных воздушных потоков

Прибор Testo 435-4
+
зонд 0635 1535
(3-х функциональный зонд скорости воздуха со встроенным сенсором температуры и влажности)

скорость неоднонаправленных (турбулентных) воздушных потоков

Прибор Testo 435-4
+
зонд 0635 9335 (крыльчатка d=60 мм)
или
зонд 0635 9535 (крыльчатка d=16 мм)

перепад давления (стационарный прибор, монтируемый на стене или оборудовании)

Dwyer Magnehelic 2000

перепад давления (переносной прибор для оперативного контроля)

Прибор Testo 435-4

температура, относительная влажность (переносной прибор для оперативного контроля)

Прибор Testo 435-4
+
зонд 0635 1535
(3-х функциональный зонд скорости воздуха со встроенным сенсором температуры и влажности)


Товары